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長春市星達電子儀器廠
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公司)是國內首創專業從事它激式高頻等離子電源(射頻電源、晶控膜厚監控儀、低溫等離子電源、RF電源)的企業。始建于1976年。是研制射頻電源、高頻、射頻等離子電源、直流濺射電源、負脈沖電源、膜厚監控儀及相關電子行業的研發、制造、銷售的企業。產品廣泛應用于真空室內等離子體改性、聚合、分析、PCVD、氣相沉積、磁控濺射度膜、等離子體表面處理、和低溫等離子醫療消毒滅菌等科研及工業領域。主要面向國內各大學、院校、科研所、真空鍍膜、光伏、醫療、及光電子高科技等企業。
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